STACIS2100

世界最高レベルの性能を誇る、アクティブ除振装置です。SEMや露光装置等、極高精細な検査・加工装置の性能を最大限発揮できる環境を提供します。設置は非常に簡単で、定期メンテナンス等も一切必要ありません。

Table Top PZT

STACISの除振技術を応用した、卓上タイプのアクティブ除振装置です。