STACIS2100 アクティブ除振装置

STACIS2100 アクティブ除振装置

STACIS2100は米国TMCブランドの、アクティブ除振システムです。
高精度な慣性振動センサーと、最先端のピエゾ電子アクチュエータを使用し、床から伝わる振動をリアルタイムにキャンセルします。
除振の効果は0.6Hzから始まり、共振点を持ちません。
2Hz以上の周波数帯域に於いて、90%以上の除振性能を発揮します。

先端の半導体工場における、露光装置・精密測定装置・精密検査装置等の防振用に設計されたこの装置は、今の超精密機器業界に於いて、振動対策のスタンダードソリューションと言えます。


特長

  • 製造装置に使用することで、装置が安定化し、製品の品質向上・歩留まりの改善に繋がります。
  • 検査装置に使用することで、装置の待機時間を削減し、スループットの向上に繋がります。
  • 据付は極めて簡単です。また据付後は一切の定期保守を必要としません。
  • 搭載される装置に除振システムが内蔵されていても、干渉しあうことなく使用可能です。

振動伝達率

振動伝達率